ARSTEK CFME16 - это 3D прибор для измерений, включающий в себя все преимущества конфокальной и интерферометрической системы
ARSTEK CFME16 – это 3D прибор для измерений, позволяющий сделать выбор между прибором с конфокальной и интерферометрической системой, включающий в себя все преимущества обоих систем.
В зависимости от задач пользователя может быть выбран конфокальный микроскоп или интерферометр белого света со способностью проводить измерения как гладких, так и очень рельефных образцов, не только с сильными, но и со слабыми отражательными способностями, быстро и не повреждая их.
В любом из приборов скорость измерения и разрешение достаточно на высоком уровне, и, при необходимости, есть возможность расширить измеряемое поле. 6ти гнездный револьвер объективов способен быстро менять одновременно разные объективы посредством поворота. Микроскопы нашли свое применение в исследовательских целях и при разработке продукта, а также для контроля продукта в процессе производства.
К преимуществам можно отнести компактность систем, хорошее соотношение цены и качества, мощное аппаратное и программное обеспечение, экономичность и эффективность, долговечность, интуитивное использование при быстрой и детальной оценке результатов.
По принципу измерения конфокального микроскопа свет на объекте фокусируется точечно, отражается и снова точечно отображается на детекторе. Когда объект расположен в фокусе, детектор фиксирует максимальную интенсивность в этой точке. Пошаговым сдвигом фокуса микроскоп получает точную информацию о высоте. Точечный съём изображения переводится в растр. Таким образом регистрируются трехмерная топография, структура и шероховатость поверхности.
При интерферометрии белого света камера получает картину интерференции, возникающую при наложении световых волн от объекта и отражающего зеркала. При совместном применении когерентного белого света с пошаговым смещением фокуса достигается очень высокое вертикальное разрешение, что позволяет успешно исследовать топографию, структуру и шероховатость поверхности.
Основные возможности ARSTEK CFME16:
· Трехмерные измерения с субнанометровым разрешением
· Горизонтальное сшивание при увеличении измеряемого поля
· Встроенная CCD-камера с переключаемым освещением
· Яркий, долговечный и энергосберегающий светодиод
· Моторизованное прецизионное приближение сенсоров
· Широкий ассортимент 2D и 3D фильтров и методов анализа данных
· Простое и эффективное программное обеспечение
· Многочисленные возможности анализа согласно DIN-ISO и SEMI стандартам
· 6-кратная револьверная головка с быстрой и лёгкой сменой объективов
Технические характеристики ARSTEK CFME16 |
|
Область перемещения | 75 мм х 75 мм |
Привод | шпиндель |
Подшипник | шариковый |
Шаговое разрешение | 0,001 мкм |
Конфокальный микроскоп | |
Турель на 4 объектива | |
Перемещение по оси Z | До 10 мм |
Объектив 10х | |
Рабочее расстояние | 17,5 мм |
Числовая апертура | 0,3 |
Объектив 20х | |
Рабочее расстояние | 4,5 мм |
Числовая апертура | 0,45 |
Объектив 50х | |
Рабочее расстояние | 1 мм |
Числовая апертура | 0,8 |
Объектив 100x | |
Рабочее расстояние | 1,0 мм |
Числовая апертура | 0,9 |